一、工具顯微鏡概述：
工具顯微鏡屬于顯微鏡的一種,具有顯微鏡的放大的性質(zhì),都有目鏡、物鏡這樣的成像裝置。與普通顯微鏡不同的是，工具顯微鏡是主要用來(lái)測(cè)量計(jì)量方面的一類顯微鏡，其移動(dòng)工作臺(tái)精度很高，能準(zhǔn)確地測(cè)量產(chǎn)品的尺寸。
二、工具顯微鏡應(yīng)用范圍：
1、測(cè)量齒輪滾刀的導(dǎo)程、齒形和牙型角；
2、測(cè)量電路板、鉆?；蚩装迳系目椎奈恢?，鍵槽的對(duì)稱度等形位誤差；
3、測(cè)量各種成型零件如樣板、樣板車刀、樣板銑刀、沖模和凸輪的形狀；
4、測(cè)量外螺紋(螺紋塞規(guī)、絲桿和蝸桿等)的中徑、小徑、螺距、牙型半角；
5、坐標(biāo)測(cè)量；
6、角度測(cè)量；
7、孔徑測(cè)量；
8、高度測(cè)量。
三、工具顯微鏡的升級(jí)換代
工具顯微鏡是應(yīng)用計(jì)算機(jī)輔助測(cè)量的新一代工具顯微鏡，能解決各種復(fù)雜的二維測(cè)量問(wèn)題。工具顯微鏡可以測(cè)量零件的長(zhǎng)度、角度、螺紋等諸多幾何量參數(shù)，是長(zhǎng)度計(jì)量檢測(cè)中使用最多的一種測(cè)試儀器，因此廣泛應(yīng)用于機(jī)械加工業(yè)的各類企業(yè)。但隨著現(xiàn)代工業(yè)的發(fā)展以及科技的進(jìn)步，傳統(tǒng)的老式萬(wàn)工顯已難以滿足要求，因此很有必要對(duì)其進(jìn)行技術(shù)改造。
1、數(shù)顯系統(tǒng)的改型
2、數(shù)顯系統(tǒng)的安裝
3、數(shù)顯系統(tǒng)的調(diào)試
4、數(shù)顯系統(tǒng)的檢測(cè)
四、工具顯微鏡的檢測(cè)規(guī)程
根據(jù)工具顯微鏡檢測(cè)規(guī)程中的相關(guān)規(guī)定，需要檢測(cè)讀數(shù)裝置的示值誤差、讀數(shù)裝置的回程誤差和示值誤差。
1、讀數(shù)裝置的示值誤差檢測(cè)
對(duì)數(shù)顯系統(tǒng)來(lái)說(shuō)，讀數(shù)裝置的示值誤差就是數(shù)顯表的最小分辨率，即±0.5μm，無(wú)須檢測(cè)。
2、讀數(shù)裝置的示值誤差的檢測(cè)(相當(dāng)于磁柵尺的重復(fù)性)
光柵尺讀數(shù)裝置就其構(gòu)造和原理來(lái)說(shuō)是沒(méi)有回程誤差的，當(dāng)然這需要很高的工藝水平做保證通過(guò)用0.1μm的電感測(cè)微儀反復(fù)測(cè)試，光柵尺讀數(shù)裝置的回程誤差最大不超過(guò)0.5μm
3、示值誤差的檢測(cè)(相當(dāng)于磁柵尺的準(zhǔn)確性)
用檢測(cè)極限誤差不大于0.5μm的玻璃刻度尺作為標(biāo)準(zhǔn)，按照規(guī)程規(guī)定的條件方法對(duì)縱、橫向分別進(jìn)行檢測(cè);若沒(méi)有玻璃刻度尺，可用工具顯微鏡原有的刻度尺與光柵尺進(jìn)行比較檢測(cè)，并用儀器原有的示值誤差進(jìn)行修正，以確定光柵尺各被檢點(diǎn)的實(shí)際誤差，若有超差再用線性補(bǔ)償系統(tǒng)進(jìn)行補(bǔ)償。
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